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深紫外激光加工系统

 

三菱重工的ABLASER-DUV深紫外(DUV)激光系统,使用短脉冲DUV激光器,提供更小的焦斑直径(10μm),同时保持长焦深,可用于高精度微加工和钻孔应用。

 

其主要特性包括短脉冲振荡器用于激光的快速激发,使用与公司其他ABLASER产品相同的光学头,以及高精度透镜和棱镜,用于随意折射和旋转激光束。由于DUV激光器的光子能量大,它能加工之前难以处理的诸如玻璃、化合物半导体等材料。

 

三菱重工,www.mhi-machinetool.com/en

 

 

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