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PI膜电路激光精密蚀刻:最小线宽6μm

激光精密蚀刻直写(或 电路激光精密直写 激光直写电路 激光蚀刻电路 激光精密电路蚀刻)加工相比光刻腐蚀等等,具有以下优点:
直接加工成型,无需复杂的掩膜制造、镀膜、光刻腐蚀等工艺流程
无污染无耗材,无化学腐蚀
高速(扫描速度高达15m/s)
高精度(<±2μm)
无材料限制,基底材料玻璃、陶瓷、硅片、有机物等等不限
加工线宽最小5μm
加工幅面图形可定义300mm*300mm
费米激光提供的激光精密蚀刻直写设备,最小加工线宽5μm,整体加工精度±2μm,局部特征精度<2μm,加工幅面300*300mm,以玻璃、蓝宝石、金属、、陶瓷、有机物等为基底的精密电路或者图形蚀刻。

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